首先在準(zhǔn)備作業(yè)前，操作人員要確保進(jìn)入單晶爐車間時(shí)穿戴好統(tǒng)一干凈的服裝。在單晶爐開爐前，做好相應(yīng)的檢查工作。準(zhǔn)備好防塵口罩，馬金，一次性手套等常用用品。各類工具準(zhǔn)備齊全。爐子在開始使用前，要對(duì)單晶爐進(jìn)行清理。

   由于單晶爐的設(shè)備型號(hào)的不同，因此今天給大家介紹的步驟是常用單晶爐的操作步驟，具體到實(shí)際操作，還要根據(jù)型號(hào)而定。

   首先在單晶爐作業(yè)前，要做好準(zhǔn)備工作，然后開始進(jìn)行熱態(tài)檢漏，檢漏的要求在3分鐘以上，同時(shí)要做好記錄。接下來將單晶和籽晶取出，冷卻后要對(duì)單晶進(jìn)行參數(shù)檢測(cè)，同樣需要做好記錄。接著將石墨件取出做好冷卻工作，之后要對(duì)進(jìn)行重量檢測(cè)并做記錄。然后在通過真空過濾器來進(jìn)行清洗，真空泵油的檢查更換。完成以上步驟，就要開始對(duì)石墨，單晶爐的室內(nèi)進(jìn)行清洗了，知道確認(rèn)沒有污物為止。接下來就是對(duì)石墨的，石英坩堝，籽晶進(jìn)行安裝，然后進(jìn)行抽空繼續(xù)檢漏。最后引晶，縮頸，放肩，轉(zhuǎn)肩，然后等徑生長(zhǎng)。最后單晶爐就進(jìn)入收尾工作了。

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