現(xiàn)有加熱電源存在的問(wèn)題：

    盡管我國(guó)晶體生長(zhǎng)設(shè)備的自動(dòng)化程度有了很大提高，但是在常規(guī)的直拉法溫度控制環(huán)節(jié)的設(shè)計(jì)上還存在以下問(wèn)題：

    (1)加熱電源的智能化程度不高。純模擬電路構(gòu)成，單閉環(huán)控制，自動(dòng)化程度偏低，功率的調(diào)節(jié)常滯后于系統(tǒng)對(duì)溫度的實(shí)際要求。

    (2)溫度需要手動(dòng)調(diào)節(jié)。該設(shè)備在運(yùn)行過(guò)程當(dāng)中不能完全做到無(wú)人值守，對(duì)于引徑、放肩及熔料過(guò)程的溫度控制還需要工作人員通過(guò)電源柜的旋鈕手動(dòng)調(diào)節(jié)輸出值，等徑生長(zhǎng)過(guò)程的實(shí)際控溫精度與理論值也有差距，參數(shù)的設(shè)置、調(diào)節(jié)和記錄均需要值守人員參與完成。

    單晶爐改進(jìn)方案：

    裝置采用模塊化設(shè)計(jì)，微機(jī)控制，內(nèi)置自適應(yīng)能力較強(qiáng)的模糊PID控制算法，具有控制參數(shù)自動(dòng)調(diào)節(jié)、顯示，可通過(guò)按鍵設(shè)定初值，系統(tǒng)異常可自動(dòng)聲光告警等新功能，即從整體上提高溫控系統(tǒng)的智能化程度和控制精度，加快參數(shù)調(diào)節(jié)的響應(yīng)速度，使整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程中爐溫的變化能快速平滑地跟隨工藝曲線變化，裝置通用性強(qiáng)，操作上更加簡(jiǎn)單、可靠。

    單晶爐主要技術(shù)指標(biāo)：

    單晶爐加熱電源是一種大功率直流電源，要求輸出功率lOOkW，輸出電壓為0-5V可調(diào)，輸出電流為0-3000A；其輸出的能量可直接為單晶爐內(nèi)的石墨加熱器供熱，加熱溫度范圍為o～2000℃，控溫精度要求達(dá)到±5℃；各種信號(hào)可自動(dòng)檢測(cè)、顯示，參數(shù)的修改和設(shè)定可通過(guò)按鍵進(jìn)行，以此來(lái)滿足單晶硅在生長(zhǎng)階段對(duì)溫度的嚴(yán)格要求。